业务范围
被动防微振基座
被动防微振基座
根据制程设备对于承重、刚性和抗振等要求，为半导体行业提供不同类型的被动防微振技术和装备。
DT-PMI被动准零刚度隔振器
DT-PMI被动准零刚度隔振器，是一款机械机构隔振器，无需外接供电和压缩空气，并可实现非常优异的隔振效果。采用”正负刚度并联“技术实现垂直方向隔振效果，固有频率低至0.5Hz；使用”梁柱效用“控制水平方向隔振，依据负载的不同，水平方向固有频率1.5-2.5Hz；垂直方向刚度可调，满足不同隔振频率和系统稳定性的需求。多自由度隔振能力，满足不同方向的隔振需求。
DT-PAI被动空气隔振器
根据负载有五种类型，可以组合安装几百公斤至数吨的设备。固有频率：水平1.5Hz，垂直2.5Hz，空气弹簧采用倒立摆型柔性铰链支撑，在六个自由度上均表现出优异的隔振效果。由于它具有高阻尼功能，因此即使在安装设备的重心较高时也能控制旋转振动。标准套件包括4个空气弹簧和3个自动机械水平调节阀。自动机械水平调节阀，控制精度为±0.1mm，另有自动电控水平调节阀，控制精度为±0.01mm。
